近日,IBM發表2nm芯片制造技術,稱這是世界首創。IBM表示,技術可以使芯片速度比現今許多筆記本電腦及手機所使用的主流7納米芯片提升45%,能源效率提高75%。比起當前最尖端的5納米芯片,2納米芯片的體積會更小、速度也會更快;目前5納米芯片只用在蘋果 iPhone 12等高端手機,而5納米之后的下一個技術節點料為3納米。
據了解,作為率先造出7nm(2015年)和5nm(2017年)芯片的廠商,IBM此次的2nm采用的是GAA(環繞柵極晶體管)技術,三層。這是第一次使用底介電隔離通道,它可以實現12 nm的柵長,其內部間隔是第二代干法設計,有助于納米片的開發。這也是第一次使用EUV曝光FEOL部分過程。關于GAA晶體管技術,三星3nm、Intel 5nm以及臺積電2nm均將首次采用。